MOP018 　高周波加速空胴　 8月8日 コンベンションホール 13:10 - 15:10

超伝導加速空洞表面処理設備の検証試験

Commissioning of surface treatment facility for SRF cavity

○宮本 明啓，柳澤 剛，原 博史，沖平 和則，仙入 克也（MHI-MS），梅森 健成，許斐 太郎（KEK）

○Akihiro Miyamoto, Takeshi Yanagisawa, Hiroshi Hara, Kazunori Okihira, Katsuya Sennyu (MHI-MS), Kensei Umemori, Taro Konomi (KEK)

超伝導加速空洞の製造にあたっては，空洞の表面処理が重要な役割を果たす。 三菱重工メカトロシステムズは，超伝導加速空洞のための表面処理設備を導入した。 設備は，化学研磨装置，超音波洗浄装置，超純水製造装置，高圧水洗浄装置，クリーンルームから構成される。 導入した表面処理設備の検証試験として，KEK殿と共同で，超伝導加速空洞に表面処理を行った後に，縦測定試験を実施した。 本発表では検証試験結果を報告する。