MOP044 　粒子源　 8月8日 コンベンションホール 13:10 - 15:10

低エネルギー電子銃の最適化設計

Optimization of design for a low energy electron gun

○小川 博嗣（産総研）

○Hiroshi Ogawa (AIST)

低エネルギー電子銃は、表面物性研究における逆光電子分光、中和銃などの電子源として広く利用されている。これまでにErdman-Zipf型やStoffel-Johnson型等の電子銃が用いられているが、逆光電子分光等の研究においては、低エネルギー領域（E < 10eV）で更なる電子源の性能の向上（大電流かつ低エミッタンス化）が求められている。 本発表では、低エネルギー電子銃（E < 10eV）の静電レンズの電極構造の最適化をSIMIONコード等を用いた電子軌道計算により行った結果について報告する。