TUP074 　光源加速器　 8月9日 コンベンションホール 13:10 - 15:10

ERLを用いた高出力EUV-FEL光源のシミュレーション研究

Simulation Study of An High-Power ERL-Based EUV-FEL Light Source

○中村 典雄，宮島 司，加藤 龍好（高エネ研）

○Norio Nakamura, Tsukasa Miyajima, Ryukou Kato (KEK)

近年、高出力のEUV(13.5nm)光源が半導体リソグラフィの次世代光源として、エネルギー回収型リニアック(ERL)を用いた高出力で低放射線のEUV-FEL光源が注目されている。KEKやQSTを中心とした研究者グループは、10kW級の出力を目標としてERLを用いたEUV-FEL光源の設計検討を日本の企業と共同で進めている[1,2]。ここでは、電子銃からFEL発振後のエネルギー回収までを含むEUV-FEL光源の電子ビームに関するStart-to-End（S2E）シミュレーション・スタディについて報告する。 参考文献：[1] N. Nakamura et al., MOPCTH10, Proc. of ERL2015, June 7-12, Stony Brook, NY, USA, pp.4-9 (2015); N. Nakamura et al., P42, 2015 EUVL Workshop, June 15-19, Maui, HI, USA. [2] 宮島他, 第12回に本加速器学会プロシーディングス、敦賀、2015年、pp.247-250